Puslaidininkinės CNC apdirbtos dalys

Gaminame pagal užsakymąpuslaidininkinės CNC apdirbtos dalysiš klientų brėžinių ir CAD failų, įskaitantvakuuminės kameros komponentai, dujų paskirstymo plokštės ir jungiamosios detalės, plokštelių tvarkymo ir suspaudimo dalys, siurblių ir vožtuvų komponentai, RF dalys, aušinimo plokštės, aušintuvai ir proceso rinkinių komponentai. Mūsų CNC tekinimo, frezavimo, 5-ašių apdirbimo, šveicariško CNC ir tekinimo-frezavimo galimybės palaiko griežtus ėsdinimo, nusodinimo, litografijos, jonų implantavimo, CMP ir metrologijos įrangos komponentus.

 

Puslaidininkinės įrangos dalys gyvena kitame pasaulyje nei paprastos pramoninės dalys: jos turi išliktivakuumo, korozinių proceso dujų, plazmos, temperatūros ciklo ir dalelių{0}}kontrolės reikalavimai. Todėl medžiagų pasirinkimas yra pirmasis sprendimas bet kuriame puslaidininkių apdirbimo projekte. Apdorojame tikslius pažymius -316L VIM-VAR ir 316L nerūdijantis, 6061-T6 ir 7075-T6 aliuminis, 5 klasės titanas, TZM molibdenas, OFHC varis C10100, nikelio lydiniai ir PEEK/PTFE inžinerinis plastikas- ir pritaikykite švarią erdvę-suderamą apdailą ten, kur to reikia programai. Dalys gaminamos pagal nurodytus matmenis, leistinus nuokrypius, medžiagas ir apdailos reikalavimus, pagal pageidavimą pateikiami medžiagų sertifikatai.

 

Nuo pavienių prototipų, skirtų naujų įrankių kūrimui, iki pakartotinių atsarginių procesų rinkinių gamybos, apdirbame puslaidininkinius komponentus iki brėžinio -, nesvarbu, koks kiekis.

 

Atsiųskite savo puslaidininkių dalių brėžinį- atsiųskite savo brėžinį arba CAD failą, kad peržiūrėtumėte medžiagą ir apdirbimą.

 

Ar turite pasirinktinę puslaidininkinę dalį? Atsiųskite savo CAD failą

 

 

Puslaidininkinių komponentų medžiagų pasirinkimas priklauso nuoSuderinamumas su vakuumu, proceso chemija, plazmos atsparumas, temperatūra, magnetizmas, dalelių generavimas ir šilumos valdymas. Apdirbame įvairias metalines ir inžinerines plastikines medžiagas, skirtas kameroms, dujų sistemoms, plokštelių tvarkymui, RF ir šiluminėms dalims.

Medžiaga	Bendrieji pažymiai	Tipiškos puslaidininkių programos	Pagrindiniai privalumai
Aliuminis	6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32	Kamerų korpusai, pagrindo plokštės, roboto rankos, radiatoriai, laikikliai	Lengvas, anoduojamas, geras šilumos laidumas; 6061-T6 yra kameros techninės įrangos darbinis arkliukas
Nerūdijantis plienas	304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630)	Vakuuminiai flanšai, dujų jungiamosios detalės, vožtuvų dalys, didelio{0}}stiprumo techninė įranga	Atsparumas korozijai ir temperatūrai; 316L VIM-VAR yra UHV žemo{2}}dujų išmetimo paslaugos standartas
Titanas	2 klasė (KP) · 5 klasė (Ti-6Al-4V)	Dujų paskirstymo dalys, proceso rinkiniai, šlapio apdorojimo įranga	Atsparumas plazmai ir cheminėms medžiagoms, didelio stiprumo-iki-svoriui, ne-magnetinis
Varis	C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 berilio varis	RF dalys, aušinimo plokštės, kontaktinės spyruoklės, elektros įranga	Puikus elektros ir šilumos laidumas; OFHC idealiai tinka RF ir šilumos valdymui
Nikelio lydiniai	Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36	Cheminiams -atsparios jungiamosios detalės, aukštos- temperatūros dalys, metrologinės konstrukcijos	Atsparumas chemikalams ir temperatūrai; „Invar 36“ siūlo beveik-nulinį šiluminį plėtimąsi

 

 

Nežinote, kuris įvertinimas jums tinka?Atsiųskite mums proceso aplinką (vakuumo lygį, dujų chemiją, temperatūrą, RD poveikį) kartu su savo piešiniu -, prieš pateikdami citatą rekomenduosime medžiagą ir paviršiaus apdailą.

 

Puslaidininkių komponentams dažnai reikalingas mikronų{0}lygio tikslumas sandarinimo paviršiuose, tvirtinimo taškuose, plokštelių-kontaktiniuose paviršiuose ir tiksliose angose, todėl įrankiai surenkami tinkamai, o procesai išlieka kartojami.

 

Specifikacija	Tipiškas pajėgumas	Tipiškos puslaidininkių programos
Linijiniai matmenys	±0,01 mm (tikslumas iki ±0,005 mm)	Kamerų dalys, pagrindo plokštės, kolektoriai
Angos ir veleno skersmuo	±0,005–0,01 mm	Siurblio rotoriai, vožtuvų kotai, precizinės jungiamosios detalės
Plokštumas	Iki 0,01 mm/100 mm	Sandarinimo paviršiai, aušinimo plokštės, kinematinės tvirtinimo detalės
Koncentriškumas / bėgimas	Iki 0,01 mm	Besisukančios siurblio dalys, movos
Tikra pozicija	±0,01 mm	Varžtų-skylių raštai, dujų paskirstymo angos
Paviršiaus šiurkštumas	Ra 0,2–0,8 μm standartas; Ra 0,1–0,4 μm pagal pageidavimą	Sandarinimo paviršiai, plokštelių{0}}kontaktiniai paviršiai, kameros vidus
Kraštų šlifavimas	Valdoma pagal piešinį (galima mikro{0}}nubraukimo)	Visos dalelių{0}}kritinės dalys
Siūlų tolerancija	Pagal ISO/ASME reikalavimus	Jungiamosios detalės, flanšai, tvirtinimo detalės

 

Svarbiausios funkcijos, kurias valdome

Sandarinimas ir sandarinimo{0}}žiedo grioveliai- kontroliuojamas vakuuminių ir skystųjų sandariklių gylis, plotis ir paviršiaus apdaila.

Plokštės{0}}kontaktiniai paviršiai- plokštumo ir šiurkštumo valdymas, kad būtų išvengta plokštelių pažeidimo ir dalelių susidarymo.

Tikslios skylės ir tinka- tikslios kiaurymės guolių, velenų ir presavimo-suderinimo komponentams.

Dujų paskirstymo angos- tikslus skylės dydis, padėtis ir šlifavimo pašalinimas, kad dujų srautas būtų vienodas.

Numerio ir montavimo ypatybės- nuoseklūs atskaitos taškai pakartojamam surinkimui ir lygiavimui.

 

Paviršiaus apdaila yra puslaidininkinės įrangos užteršimo ir korozijos strategijos dalis. Tinkama apdaila kontroliuoja daleles, dujų išsiskyrimą, cheminį atsparumą ir elektrinį elgesį.

Nežinote, kuri apdaila tinka jūsų procesui?Atsiųskite savo piešinį, medžiagą ir paraišką, kad gautumėte apdailos rekomendaciją.

 

Gamybos metu tikriname kritinius matmenis, tvirtinimus, lygumą, išsiveržimą ir paviršiaus reikalavimus, kad įsitikintume, jog CNC apdirbtos puslaidininkinės dalys atitinka brėžinį. Projektams, kuriems reikalinga dokumentuota kokybė, galime pateikti medžiagų sertifikatus, matmenų ataskaitas ir švaros dokumentus, kad pagrįstų jūsų gaunamą patikrinimą.

Reikia dokumentuotos kokybės kontrolės?Atsiųskite mums savo brėžinius ir patikrinimo reikalavimus.

 

Puslaidininkių projektai dažnai prasideda nuo prototipų - naujų įrankių dizaino, proceso rinkinių kūrimo, dalių arba pakaitinių komponentų atnaujinimo, kurie turi būti patvirtinti prieš gamybą. Mes palaikomeprototipas ir mažo{0}}tūrio CNC apdirbimasnuo pradinių pavyzdžių iki pakartotinių mažų{0}}paketinių užsakymų.

Tinka

Vakuuminė kamera ir dujų tiekimo įranga

Vaflių tvarkymo ir suspaudimo komponentai

Odinimo, nusodinimo ir jonų implantavimo dalys

RF, elektros ir šilumos valdymo dalys

Metrologijos ir tikrinimo įrenginiai

Esamų įrankių atsarginės dalys ir proceso rinkiniai

 

Pakuotė

Asmeninė apsauga:PE maišeliai, putplastis arba apsauginė plėvelė apdirbamiems paviršiams

Švaraus kambario pakuotė:Išvalytos dalys dvigubai{0}}supakuotos į švarius maišelius (galima išvalyti azotą-)

Mažos dalys:Skirstytos kartoninės dėžutės, kad nesusibraižytų ir nesusisiektų su dalimis{0}}į-

Tikslios dalys:Putplasčio įdėklai ir atskiri skyriai svarbiems komponentams

Individualizuota pakuotė:Dalių numeriai, etiketės, kiekiai ir kliento{0}}konkretūs pakuotės reikalavimai

 

Įprastas pristatymo laikas

Užsakymo tipas	Įprastas pristatymo laikas
Prototipas	5-10 darbo dienų
Mažas-apimties užsakymas	10-20 darbo dienų
Gamybos užsakymas	15-30 darbo dienų
Pakartokite užsakymą	10-25 darbo dienos

 

Reikia konkretaus pristatymo grafiko?Siųskite brėžinius, kiekius ir apdailos reikalavimus, kad gautumėte konkrečią projekto{0}}pasiūlą.

 

Atsiųskite savo 2D brėžinį arba 3D CAD failą, medžiagos klasę, kiekį, toleranciją ir apdailos reikalavimus.

 

Populiarus Žymos: puslaidininkinių cnc apdirbtų dalių, Kinijos puslaidininkių cnc apdirbtų dalių gamintojai, tiekėjai, gamykla, titano